靈敏度是指微型傳感器在穩態工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。 　
　　它是輸出一輸入特性曲線的斜率。如果微型傳感器的輸出和輸入之間顯線性關系，則靈敏度S是一個常數。否則，它將隨輸入量的變化而變化。 　
　　靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如，某位移傳感器，在位移變化1mm時，輸出電壓變化為200mV，則其靈敏度應表示為200mV/mm。 　
　　當微型傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時，靈敏度可理解為放大倍數。 　　
　　提高靈敏度，可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高，測量范圍愈窄，穩定性也往往愈差。
　　微型傳感器的分辨率
　　分辨率是指微型傳感器可感受到的被測量的最小變化的能力。也就是說，如果輸入量從某一非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某一數值時，微型傳感器的輸出不會發生變化，即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨率時，其輸出才會發生變化。 　　
　　通常微型傳感器在滿量程范圍內各點的分辨率并不相同，因此常用滿量程中能使輸出量產生階躍變化的輸入量中的最大變化值作為衡量分辨率的指標。上述指標若用滿量程的百分比表示，則稱為分辨率。分辨率與微型傳感器的穩定性有負相相關性。
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