近些年來，由于人們家庭及辦公場所對節能的意識不斷提高，在節能的同時還致力于實現舒適生活的智能家居，以及為必要的地方提供必要亮度的照明，并可實現節能與舒適性兩全其美的應需環境照明等的智能辦公室已經過研究階段進入了驗證實驗的階段。其中，作為掌握人數及人物所處位置的關鍵件，傳感器的需求正在不斷高漲。 由于普遍用于人感傳感器的熱電傳感器無法檢測靜止不動的人物，所以難以檢測人數及人物所處位置。
　　由于這種情況，開發了能夠檢測靜止人物，具有90度廣視野范圍并可實現高精度區域溫度檢測，用于人感傳感器的16×16單元型MEMS非接觸式溫度傳感器。 該MEMS非接觸式溫度傳感器是通過應用MEMS技術的熱電堆將對象物體發出的紅外線能源變為熱能，并通過兩種金屬接點之間溫差所形成的熱電動勢測量溫度。但由于熱電堆所轉換的熱能大多數都會通過空氣散失，所以在金屬接點之間難以形成較大的溫差，致使熱電動勢變小，無法提高靈敏度。 這次，世界首次成功將熱電堆真空封裝在芯片內。采用真空封裝即可避免將熱電堆轉換的熱能散失在空氣中，使金屬接點之間的溫差變大，從而可實現更高的靈敏度，該溫度傳感器目前在全世界行業技術屬于瑤瑤領先的。
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